产品特点：

直接质量流量监测，无需压力和温度传 感
数字质量流量显示（显示板可远程安 装）
质量流量电信号输出（可用于控制，数据记录）
快速的响应能力（2 秒）
大而直的传感器管道减少了污染和维 修停用期
铂传感器消除了零漂，确保长期稳定
基本标准标定确保了起始点准确性和
NIST 可追踪性
CE 认证
获中华人民共和国计量器具批准证书（CPA）

性能规格
精度：
±1.5 满度，在 15ºC～25℃及 5 到 60psia（0.3 到 4bara）范围内。 如果流量计是通过垂直流量通路安装的，
则准确度为下所示：

                    操作压力
入口压力差  50psig      100psig   150psig
±1psig      ±1.5％满度   ±1.5％满度 ±1.5％满度
±5psig      ±3.8％满度   ±4.5％满度 ±5.3％满度
±10psig     ±6％满度    ±7.5％满度 ±9％满度

重复性：
±0.5％满度。
温度系数：
0.08％满度每 ºF（0.15％满度每 ºC），或更好。
压力系数：
0.01％满度每 psi（0.15 满度每 bar），或更好。
响应时间：
时间常数 800 毫秒；6 秒到最终值的±２％以内（满 度的 25％到 100％）。

操作规格 气体：
大多数气体；检查与仪表材料的兼容性；订货时具体指出。
质量流量：
0~10sccm 到 0~50slpm；指定的流量范围是 76 厘米 汞柱、21ºC（70ºF）下的氮气对应流量范围；用其他单位表示的流
量范围也可提供（ 即 ： scfh  或 nm3/hr）。
气体压力：
150psig(10barg)最大；20psig（1.4barg）最佳。
气体＆环境温度：
32ºF 到 122ºF（0ºC 到 50ºC）。
防渗漏功能：
最大为 1×10-4  atm cc/sec（氦气）。